中微半导体设备（上海）股份有限公司是一家主要从事半导体设备及泛半导体设备的研发、生产和销售的中国公司。该公司主要为集成电路、发光二极管（LED） 外延片、功率器件、微机电系统（MEMS）等半导体产品的制造企业提供半导体设备。该公司的产品包括电容性耦合的等离子体源（CCP）刻蚀 ...